微操纵器工作原理
典型微操纵器主要组成:探针夹座、可调探针臂、千分尺调节轴、磁吸底座。可通过通用工具转接件加装移液管、注射器、光纤等其他工具。
手动微操纵器凭借直观手动操控、操作简单、性价比高而广泛使用。千分尺旋钮与运动方向对齐,探针如同人手的延伸,触觉反馈优异,便于精准定位。
电学实验中,SMA 接口可将微操纵器连接至源测量单元等测试设备。自带线缆压块固定同轴电缆,降低电噪声,获得更干净的数据。磁吸底座可吸附在金属平板上(例如 Ossila 探针台平台),保障测试环境稳定。
运动参数
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项目
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T2007A1
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T2007B1
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驱动轴
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X、Y、Z
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X、Y、Z
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微调驱动
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普通千分尺
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细牙千分尺
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单轴*大行程
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10 mm
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10 mm
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刻度有效行程
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6.5 mm
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6.5 mm
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千分尺读数分辨率
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10 μm
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5 μm
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千分尺螺杆牙距
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每英寸 50 牙
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每英寸 100 牙
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*小可实现位移
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约 4‑8 μm
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约 2‑4 μm
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探针*大直径
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0.8 mm
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0.8 mm
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探针参数
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项目
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参数
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探针材质
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纯度>99.95% 钨
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针尖直径
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20 μm
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探针漏电流
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±75 V 直流条件下<100 pA
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探针通路电阻
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≤0.3 Ω
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探针长度
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32 mm
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探针杆直径
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0.508 mm
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探针接口
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SMA
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漏电流与探针通路电阻
开展电学表征实验时,应尽可能降低测量链路总电阻。微操纵器连接测试仪器后,附加电阻来自三部分:引线电阻、接触电阻、系统通路电阻。
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引线电阻:探针与仪器之间电缆、导线带来的电阻。
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接触电阻:针尖与被测样品界面的电阻;受接触不完全、焊盘形貌、表面粗糙度、氧化层、样品污染影响。
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系统通路电阻:从针尖经过操纵臂路径上产生的全部电阻;操纵臂晃动、位移、接触**都会增大该通路电阻。
实测 Ossila 微操纵器(针尖至仪器端)通路电阻<0.3 Ω;该数值受探针‑样品接触状态、所用电缆型号影响。
漏电流指非目标回路的意外电流,例如通过绝缘层、表面、寄生路径产生的漏电。在 nA、pA 级高精度器件表征中,微小漏电流也会带来噪声与偏移误差。Ossila 钨探针在 75 V 直流条件下漏电流<100 pA。
产品特点
高精度三轴定位
三轴*小位移可达 2 μm,实现精准可靠探针测试。各轴配置精密线性轴承,运动顺滑可复现;弹簧预紧轴承消除回差,敏感实验也可获得准确测量。
舒适手动操控
支持盲操作,使用者专注显微镜视野。千分尺旋钮与对应运动轴同向,调节直观。磁吸底座可直接适配 Ossila 探针台,快速搭建探针测试系统。
直流探针测试
低漏电流、低通路电阻,保障微弱电学测试的数据准确。SMA 接口快速安装;线缆压块固定同轴电缆,抑制振动与噪声干扰;搭配转接件可对接几乎所有源测量单元。
实验拓展性强
可替换钨探针,兼容各类探针、注射器、微量移液管、真空吸针、光纤等工具。适配实验室多样化需求,无论何种应用场景,均可发挥优异定位精度。
应用领域
微操纵器广泛用于各类微观尺度实验,典型应用如下:
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器件表征:探针定位测量多种电学参数,评估器件性能、可靠性与应用适配性。
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材料研发:研究有机半导体、二维材料、纳米结构等新型材料的电学特性。
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晶圆级测试:半导体制造中,晶圆划片分割芯片之前,完成芯片性能评估与早期缺陷筛查。
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失效分析:器件故障时,探测分立元器件与连接点位,定位故障根源。
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光电器件测试:搭配光源与探测器,测试光电二极管、LED、激光二极管等光电器件。
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电生理实验:操控微电极采集神经元、肌细胞电信号,实时研究离子通道、突触传递与神经回路。
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细胞生物学:细胞分子注射、膜片钳实验、单细胞分离等生物学操作。
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基因工程:显微镜下向细胞显微注射 DNA/RNA,显微解剖微小组织样本。参数
底座类型:永磁底座
主体材质:阳极氧化铝
外形尺寸(长 × 宽 × 高):155 mm × 74 mm × 78 mm(6.10"× 2.91" × 3.07")
伸展状态尺寸(长 × 宽 × 高):231 mm × 77 mm × 84 mm(9.09"× 3.03" × 3.31")
重量:400 g
单台装箱清单
微操纵器主机
20 μm 钨探针针尖
1 米 SMA‑SMA 同轴电缆
技术文档资料