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ossila铂电极FET测试芯片

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产品名称: ossila铂电极FET测试芯片
产品型号: S0420A1
产品展商: Ossila
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简单介绍


ossila铂电极FET测试芯片  的详细介绍

Ossila二维材料场效应管测试芯片,可供用户对单层、少层二维晶体开展电学与光学测试,无需购置昂贵的光刻设备。芯片为 Si‑SiO₂基底,预制铂电极;源‑漏沟道长度覆盖 4 μm‑20 μm。只需将二维晶体转移至沟道上方,即可直接开展测试。芯片配备双通道电极结构,可堆叠两层晶体,并且能够分别对两层实现电极接触。

多年来,二维材料领域研究热度持续攀升,有望在电池、量子计算机等领域催生颠覆性新技术。科研界制备二维材料的主流手段为 “胶带剥离法”,从块体材料剥离得到单层或少层晶体,该方法可以制备光学、电子器件所需的高质量二维材料。二维材料的制备流程相对简单,光学表征仅需要显微镜与光源即可完成。

但想要充分挖掘材料性能,还必须开展电学特性研究。这对科研人员构成很高门槛:制备二维晶体的金属接触电极,需要复杂且昂贵的光刻设备。我司联合领域内科研人员开发这款二维材料 FET 基底,消除该实验门槛,加快二维材料的电学、光学表征效率。

项目 参数
基底 / 栅极 硅基底(N 型掺杂)
栅极电阻率 约 5 Ω・cm
栅极绝缘层 300 nm 热氧化二氧化硅
尺寸 14.97 mm × 14.97 mm × 0.7 mm
电极焊盘间距 1.27 mm
电极宽度 4 μm
电极材料 铂(50 nm ±10 nm)+ 钛粘附层(5 nm)
镀膜方式 等离子溅射
图形化工艺 光刻工艺
沟道长度 4 μm(2 组)
10 μm(2 组)
4 μm ×10 μm
4 μm ×20 μm
10 μm ×20 μm
10 μm ×20 μm
可变沟道长度(4 组)

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