电学表征系统 本系统用于小型电子器件实验的综合表征，包含样品测试所需全套配置。整套系统由稳定手动探针平台与双通道源测量单元组成；探针平台集成振动阻尼、电气隔离、60 帧 / 秒 USB 相机以及低延迟显示屏幕。 可将微操纵器便捷连接至源测量单元，完成光伏器件、LED、OLED、晶体管等各类器件的 I‑V 特性测试。双通道源测量单元单块板卡集成四套仪器功能：2 路源测量单元（电压输出、电流采集）与 2 路高精度电压采集通道；另配备通用遮光 / 触发通道，可与其他外部仪器联动。配套隔膜真空泵噪声低、免维护，内置压力表，实现样品便捷可靠的吸附定位。 技术参数 整机占地面积（长 × 宽 × 高）：50 × 35 × 60 cm 底座平台与安装平板 底座：铝制光学面包板，孔位间距 25 mm 隔振方式：弹性体阻尼隔振支座 固有频率：12 Hz 有效隔振起始频率：＞17 Hz *大总承载：880 N 平板材质：导磁不锈钢 平板高度：150 mm 平板可搭载：*多 8 套 Ossila 微操纵器 底座平台外形尺寸（长 × 宽 × 高）：50 × 35 × 19 cm 样品台 平台行程：X/Y 方向 25 mm；Z 方向 10 mm；粗调旋转 360°，微调旋转 15° 平台位移分辨率：X/Y/Z 轴 0.01 mm；旋转 0.1° *小样品基底尺寸：直径 5 mm *大样品基底尺寸：直径 150 mm 样品台直径：155 mm 样品台材质：铝合金 样品台类型：真空吸附式（分区可选） 样品台绝缘电阻：500 V 直流下＞99 MΩ 样品台漏电流：±75 V 直流条件下＜75 pA 真空接口：外径 6 mm 快插软管，内螺纹端口 隔膜真空泵 泵类型：无油隔膜泵 *大流量：7 L/min *大真空度（表压）：‑680 mbar（‑510 mmHg） *大真空度（**压力）：330 mbar 噪声：＜45 dBA@1 mV 振动等级：低振动（双级阻尼） 电机类型：直流无刷电机 *大功率：4 W 额定泵寿命：6000 小时 排气方式：外排（仅洁净气体，不可处理需回收的液体 / 气体） 适用介质：**空气、非易燃、非腐蚀性干燥气体（如氮气、氩气） 泵头材质：PPS 隔膜材质：EPDM 三元乙丙橡胶 阀门材质：EPDM 三元乙丙橡胶 压力表单位：mBar、mmHg 双单位 管路接头：6 mm 快插接头 供电：24 V 直流 重量：1 kg 外形尺寸（长 × 宽 × 高）：15 × 12 × 14 cm 显微镜成像单元 显微镜类型：单目变倍镜头，光学变焦 0.6×‑5.0× 视场范围：9.3 mm‑1.1 mm 工作距离：86 mm 相机传感器：索尼 IMX415（4K，1/2.8"，1/2.8 英寸） *高分辨能力：线间距 4.4 μm（228 lp/mm） 实时输出：USB3.0 & HDMI，全分辨率*高 60 帧 / 秒 相机软件兼容性：UVC 标准即插即用，兼容 Ossila 软件及绝大多数第三方软件 显示器：15.6 英寸 1080P，可活动悬臂支架 总放大倍率：37×‑309× 照明：可调 LED 同轴光源
微操纵器
探针 探针材质：钨，针尖直径 20 μm 探针接口：SMA 探针漏电流：±75 V 直流条件下＜100 pA 探针通路电阻：≤0.3 Ω 源测量单元 源测量单元（SMU1、SMU2） 源测量单元输出电压，同时对输出电压与电流进行测量。输出电压直接在 BNC 输出端实测，而非直接采用设定电压值；用于补偿负载效应，例如输出短路、低阻抗带来的电压跌落。每一路源测量单元具备多档电流量程，大小电流均可实现精准测量。 电压输出指标
电压测量指标
遮光 / 触发通道 遮光 / 触发通道支持输入或输出模式。可向外输出触发信号，也可接收外部仪器的触发信号。BNC 接口电平为 5 V，更高电压会造成端口损坏。 电学表征系统产品特点 测试结果可靠可信 在低噪声、稳定的测试环境下获得一致性高、质量优异的数据。精密加工样品台、隔振结构、低噪声真空泵以及电气接地，充分保障科研所需的测试可靠性与可重复性。 高精度探针测试 微操纵器漏电流与通路电阻低，适用于半导体直流测试。探针*小调节分辨率可达 4 μm；各轴搭载精密线性轴承，移动顺滑、动作可复现。 五路独立通道 双通道源测量单元 + 双通道电压采集通道。两路 SMU 通道输出电压，同时采集电流 / 电压；两路独立电压采集通道测量外部器件输出电压；遮光 / 触发通道实现外部控制与程序联动。 宽电压、电流测量范围 五档独立电流量程适配不同实验需求，同时提供 10 种速度‑分辨率配置。支持直流与低频测量；电压范围‑10 V~+10 V，电流测量区间 10 nA‑200 mA。 人性化实用设计 长时间实验也可专注科研，操作舒适无别扭。样品台控制部件、可摆开式显微镜支架，完全敞开样品台操作区域，便于装样、精准探针对位与快速换样。60 帧 / 秒相机定位延迟极低。
装箱清单 探针台（含显微镜、相机及显示器） 4 套微操纵器（2 套左、2 套右） 源测量单元 隔膜真空泵 2 路差分接口模块 探针针尖套件（10 支，20 μm 钨针尖） 4 根 SMA‑SMA 同轴电缆（1 米） 4 根 BNC‑BNC 电缆（50 欧姆，1 米）