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ossila隔膜真空泵

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产品名称: ossila隔膜真空泵
产品型号: L2012A1
产品展商: Ossila
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简单介绍


ossila隔膜真空泵  的详细介绍
奥西拉(Ossila)隔膜真空泵可固定衬底、晶圆及各类实验器件。该泵专为真空卡盘与夹持工装开发,可输出稳定吸力(极限真空 330 mbar ),具备低噪声(<45 dBA)、双级阻尼减振、流量 7 L/min 的性能特点。
本设备针对低真空场景优化,典型用途包括:
在奥西拉探针台上固定硅晶圆
在奥西拉自动涂膜机上将柔性衬底平整、牢固吸附固定
为真空底座显微操作器提供真空动力
奥西拉隔膜真空泵采用 6 mm快插接口,可即插即用对接奥西拉系列设备;设备内置模拟压力表,可实时读取真空度,便于故障排查与泄漏检测。

技术参数

项目 参数
泵体类型 隔膜式(无油)
流量 7 L/min
表压真空度 ‑680 mbar(‑510 mmHg)
真空度 330 mbar
噪声 1 米处<45 dBA
振动等级 低(双级阻尼减振)
电机类型 直流无刷电机
功率 4 W
额定泵体寿命 6000 小时


双级减振结构

常规实验室真空泵往往会产生较大机械噪声。对此,奥西拉真空泵采用双级减振架构,将泵体机芯与实验室环境进行振动解耦:

  1. 内部悬置:泵核心模组采用四点水平弹簧悬挂结构。该悬浮设计可有效吸收 X/Y/Z 三个轴向的振动,阻止电机内部振荡传递至外部机壳。
  2. 外部阻尼:金属机壳底部配置高摩擦力减震橡胶脚垫,在设备与光学平台 / 实验台之间形成**道减振隔离层。

正因如此,该真空泵非常适合搭配探针台以及其他对机械稳定性要求严苛的实验室设备。即便泵满负荷运行,多维度减振设计也能够保证探针针尖状态稳定、涂膜衬底不受振动扰动。

应用场景

本泵功能多样,适用于各类实验室工件吸附与样品处理作业:

  1. 探针台真空卡盘:作为奥西拉探针台的理想配套设备,保障器件在表征测试过程中保持位置固定。泵可提供足够吸力将样品锁紧在卡盘上,探针测试过程中维持稳定电接触,同时不会产生会造成探针针尖移位的振动。
  2. 涂膜机与真空涂覆平台:适配奥西拉自动涂膜机(以及同类刮刀涂布、狭缝挤出涂布设备)。可将柔性或刚性衬底完全平整吸附于多孔真空台面,避免衬底移位,保障薄膜厚度均匀一致。
  3. 真空工装固定:可将真空底座显微操作器、光学支座牢牢固定在光学平台或探针台上。
  4. 拾取‑放置系统:可作为手动 / 自动真空镊子的真空源,无损处理易损太阳能电池、OLED 器件、玻璃盖玻片等样品。


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