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这款PELCO®凹坑仪是南湾科技D500i凹坑仪的改进版,是一种精密的机电金相研磨仪器。它可不断的监视和控制凹陷参数,并且在达到预先设置的样品厚度时准确地终止研磨。这种机电一体化技术的上乘实现了造坑过程的自动化,使得造坑减薄的过程变得可重复而可靠。
PELCO凹坑仪的**度为±1μm,造坑面积大,机械损伤小。可对多种不同的材料进行造坑减薄,如硅、镓砷化合物、锗、蓝宝石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半导体、铝合金、陶瓷、碳和碳复合物。
Z偏移量 |
**度: |
1 micron |
|
范围: |
2000 microns |
Z终止**度 |
工具1i / 3i: |
<±1 micron |
|
工具2i / 4i: |
<±2 microns |
工具压力 |
范围: |
1 - 200 grams |
|
|
1 grams 步进 |
平衡 |
灵敏度: |
1 grams |
|
范围: |
50 grams |
工具速度 |
100 - 600 RPM |
|
样品压盘转速 |
10 RPM |
|
工具传动轴 |
0.5微米TIR |
|
|
工具1i / 3i: |
<±1 micron TIR |
|
工具2i / 4i: |
<±2 microns TIR |
压盘表面 |
<0.5 micron TIR |
|
外形尺寸 |
长度: |
68.6cm |
|
宽度: |
35.6cm |
|
高度: |
33cm |
|
重量: |
32kg |
电源 |
通用交流电:85~264 VAC,47~63 Hz |
产品编号 |
描述 |
84000 |
PELCO ® TEM精密凹坑仪 |
83050 |
PELCO ®视频对齐工具 |
83031 |
用于TEM的3mm样品的标准工具组 |
83032 |
可调节压板组 |
83001 |
蓝宝石样品座 |
