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  • 产品名称：208HR高分辨率镀膜仪（离子溅射仪）

  • 产品型号：
  • 产品厂商：Ted pella
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简单介绍：
208HR高分辨率镀膜仪
详情介绍：

 108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

l  通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

l  操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

l  可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）**测定所镀膜的厚度。

l  数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和*佳的镀膜效果。

可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

 

 

技术参数

 

溅射系统

样品室大小

直径120mm x 120mm 高

靶材

标配黄金Au靶，Pt等其它靶材可选

大小：直径57mm x 0.1mm厚

样品台

可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm

溅射控制

微处理器控制，**互锁

溅射电流

5~45mA可调

溅射头

低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

计量表

真空： Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA

厚度监控
  (选件)

使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）**测定所镀膜的厚度

控制方法

具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s）

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

3.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒.

极限真空

5 x 10-3mba

桌上系统

真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

 

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