108 Auto/SE是一款结构紧凑的桌上小型离子溅射仪，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜，是108auto的大样品室型号，样品室直径为直径150mm x 165mm。更大的样品室可同时对更多样品进行喷镀，相比108auto的磁场更强，沉积速度相对较快。
主要特性
一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和*佳的导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
五、通过使用高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和*佳的镀膜效果。
可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
技术参数
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溅射系统 |
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样品室大小 |
直径150mm x 165mm 高 高度可调：165mm-250mm |
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靶材 |
Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚 |
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样品台 |
可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm |
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溅射控制 |
微处理器控制，**互锁，可调，*大电流40mA，程序化数字控制 |
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溅射头 |
低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩，具有溅射挡板保护溅射头 |
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模拟计量 |
真空： Atm - 0.001mbar，电流：0-50mA |
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厚度监控 |
使用高分辨厚度控制仪（选件）可自动终止溅射过程。 |
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控制方法 |
自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气 |
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真空系统 |
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真空泵 |
2级直连式高速真空泵 |
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抽气速率 |
160L/MIN |
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噪音 |
≤56dB |
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极限真空 |
5 x 10-4mbar |
