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简单介绍：

小型离子溅射仪108 AutoSE

详情介绍：

108 Auto/SE是一款结构紧凑的桌上小型离子溅射仪，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜，是108auto的大样品室型号，样品室直径为直径150mm x 165mm。更大的样品室可同时对更多样品进行喷镀，相比108auto的磁场更强，沉积速度相对较快。

一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和*佳的导电喷镀效果。

二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

五、通过使用高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和*佳的镀膜效果。

可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

溅射系统
样品室大小	直径150mm x 165mm 高高度可调：165mm-250mm
靶材	Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚
样品台	可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm
溅射控制	微处理器控制，*互锁，可调，大电流40mA，程序化数字控制
溅射头	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩，具有溅射挡板保护溅射头
模拟计量	真空： Atm - 0.001mbar，电流：0-50mA
厚度监控 (选件)	使用高分辨厚度控制仪（选件）可自动终止溅射过程。
控制方法	自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
真空系统
真空泵	2级直连式高速真空泵
抽气速率	160L/MIN
噪音	≤56dB
极限真空	5 x 10^-4mbar

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产品名称：小型离子溅射仪108 AutoSE