聚焦离子束原位提取 TEM 载网,也叫半月形 FIB 载网、Lamella 薄片承载载网 它不是常规带网格栅的 TEM 载网(Gilder/Quantifoil 那种多孔网格),是专门用于FIB-SEM 双束系统原位提取(in-situ lift-out)的特种样品载体,半导体失效分析、材料 TEM 制样、Cryo-FIB 冷冻切片的核心耗材。
FIB Lift‑out 工艺:在 FIB-SEM 内部,用纳米机械手(Omniprobe 探针)从大块样品中切出超薄薄片(Lamella,薄片),原位把薄片焊接固定在 LO 载网的立柱(post)上;之后继续离子束减薄,取出放到 TEM 做高分辨 / STEM/EDS/EBSD 分析。
可选其他特殊材质:硅半载网 Silicon Half Grid、铍铜合金(低原子序数,降低背景)
立柱数量:1/2/3/4/5/8 柱可选;立柱上带索引标记(点 / 字母编号 A,B,C,D,E),TEM 下快速定位不同薄片样品
立柱表面:垂直焊接面,部分型号 V 型定位槽,方便 Lamella 对位与 Pt 沉积焊接。