美国国家标准与技术研究院NIST标准认证(带证书),10种线宽特征尺寸:2mm、1mm、0.5mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和100nm适用放大率为10-20000x,适用于SEM和FIB。
Pelcotec™ CDMS-0.1C Certified against NIST standard with features from 2mm to 100nm for magnification 10x - 200,000x for SEM, FE-SEM and FIB. Feature sizes: 2mm, 1mm, 0.5mm, 10µm, 5µm, 2µm, 1µm, 500nm, 250nm, and 100nm